2300 Flex 系列是Lam 12英寸介電膜蝕刻設備，一般根據(jù)平臺可配置1~6腔體。設備采用CCP蝕刻原理，離子濃度更高，蝕刻轟擊力更強?？蛇m用于深的縱橫比。
產(chǎn)品特點
1.蝕刻縱橫比高，用于深孔和深槽2.三射頻配置，適用于更多工藝選擇
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