Centura 5200平臺系列
Centura 5200平臺是AMAT自動化多腔體設(shè)備平臺，可以安裝6個腔體，刻蝕腔體有DPS Poly、DPS Metal、eMax、Super-E、MxP、MxP+等，可用于氧化硅、氮化硅、多晶硅、硅及金屬材料的刻蝕。
分享
相關(guān)產(chǎn)品
描述
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.可選配液晶觸摸操作面板，提供更便捷的操作。
2.可選配雙硬盤自動備份系統(tǒng)，保證數(shù)據(jù)安全。
3.可升級傳送及腔體套件，匹配透明片、薄片的傳送及配套工藝。
4.提供多種新工藝開發(fā)及解決方案。
