Vector Extreme
Lam 12英寸薄膜沉積設(shè)備，最多可以配置3個(gè)工藝腔體，可以同時(shí)對(duì)12片wafer進(jìn)行工藝處理。雙機(jī)械手傳送結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)更快的傳送效率。
分享
相關(guān)產(chǎn)品
描述
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.可選配雙硬盤自動(dòng)備份系統(tǒng)，保證數(shù)據(jù)安全。
2.可選配不同的工藝腔體。
